特征參數：
● 150-350mW@355nm
● 80MHz重複頻率 / 12ps脈寬
● 高光束質量M²<1.3
● 緊湊、密封、堅固的工業級操作平台確保了良好的光束（shù）性能和長期的功率穩定性。
應用：
● 半（bàn）導體（tǐ）晶圓檢查
● 細（xì）胞篩選
● 微加（jiā）工
● 微型立體光刻
光束特性 | ||
項目 | GENIUS-150 | GENIUS-350 |
波長(nm) | 355nm | |
功率 | 150mW | 350mW |
重複頻率1(MHz) | 80MHz±1MHz | |
脈寬2(ps) | ＜12ps | |
光束（shù）質量 | TEM00(M2＜1.3) | |
平均功率穩定性3(RMS) | ＜2% | |
偏振度（dù） | ＞100:1 水平 | |
光斑圓（yuán）度(%) | ＞85% | |
光束指向性（xìng）4(μrad/℃) | ＜20μrad/℃ | |
光（guāng）斑（bān）尺寸5(mm) | ~1mm | |
一般特性 | ||
電源（yuán）輸入 | 220 VAC ±5% 50-60Hz | |
能量損耗 | ＜1kW | |
冷卻方式 | 閉（bì）路循環水冷 | |
工作條件 | 溫度 15-35℃ 濕（shī）度 ＜65% | |
加熱時間(min) | ＜40min | |
